公开/公告号CN107240561A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 盟立自动化股份有限公司;
申请/专利号CN201610186608.7
申请日2016-03-29
分类号
代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);
代理人翟羽
地址 中国台湾新竹市科学工业园区研发二路3号
入库时间 2023-06-19 03:30:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20171010 申请日:20160329
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20160329
实质审查的生效
2017-10-10
公开
公开
机译: 使用环形表面放电等离子体装置控制点蚀刻模块和点蚀刻模块的蚀刻轮廓的方法
机译: 水车式蚀刻模块和使用该模块的蚀刻系统
机译: 湿式蚀刻装置,湿式蚀刻方法以及使用其的制造方法