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徐赛生; 曾磊; 张立锋; 张炜; 张卫; 汪礼康;
复旦大学微电子研究院,复旦-诺发互连研究中心;
罗门哈斯电子材料(上海)有限公司;
上海大学化学系;
铜互连; 脉冲电镀; 电阻率; 晶粒尺寸; 表面粗糙度;
机译:脉冲电沉积铜铟硫硒薄膜及其性能
机译:脉冲电沉积铜铟硒化物薄膜的性能
机译:脉冲反转对脉冲电沉积铜铟硫太阳能电池性能的影响
机译:晶体结构对铜电沉积薄膜蚀刻性能的影响
机译:脉冲电流电沉积产生的纳米晶铜沉积物的机械,电化学和摩擦学性能
机译:一步制备铜纳米柱阵列填充脉冲电沉积AAO薄膜用于各向异性导热互连器
机译:通过(TSV)技术脉冲反向电沉积脉冲反向电沉积型铜型铜的实验与理论研究
机译:商品焦磷酸盐和酸性硫酸铜溶液电沉积铜的某些力学性能
机译:通过在镁合金表面上形成具有弱耐蚀性的锌电解铜电沉积镍或锌电解镍电沉积镍的镀层,可以使镁的强腐蚀性能增强的方法
机译:电沉积铜箔,检查其物理性能的方法以及使用该电沉积铜箔的覆铜层压板
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