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非规则矩形电阻在Calibre LVS中阻值提取问题研究与实现

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本文首先介绍了Calibre LVS的基本流程.在分析了现有的在LVS过程中电阻版图阻值提取方法的优缺点基础上提出了一种新颖的电阻的提取方法,经过Calibre LVS验证可以有效的减小了电阻阻值提取的误差,为非规则矩形电阻提取提供了一种新的、更加精确的方法

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来源
《中国集成电路》 |2008年第4期|55-57,73|共4页
作者
郝宁; 梁洁; 吴春喻; 张馨芳;
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作者单位

辽宁大学物理学院,中国沈阳,110023;

北京美新华微电子技术有限公司,中国北京,100044;

北京美新华微电子技术有限公司,中国北京,100044;

辽宁大学物理学院,中国沈阳,110023;

辽宁大学物理学院,中国沈阳,110023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
Calibre LVS; 非规则矩形电阻; 自修正系数; SOI工艺;

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