提取电容器的栅极串联电阻值或者泄露电阻值的方法

摘要

本发明涉及一种提取电容器的栅极串联电阻值或者泄露电阻值的方法，包括步骤：获得所述电容器的三元件等效电路模型的阻抗公式；获得所述电容器的并联等效电路模型的阻抗公式；在第一频率下，测量所述电容器的并联等效电路模型的第一电容值和第一电阻值；在第二频率下，测量所述电容器的并联等效电路模型的第二电容值和第二电阻值；根据所述电容器的三元件等效电路模型和并联等效电路模型的阻抗相等，利用所述第一、第二频率值、所述第一、第二电容值、所述第一、第二电阻值计算获得所述电容器的栅极串联电阻值或者泄露电阻值。本发明能够准确获得电容器的栅极串联电阻值或者泄露电阻值。