退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
郭聪; 张怀东;
沈阳芯源微电子设备有限公司 辽宁沈阳110168;
光刻工艺; 显影工艺; 显影喷嘴; 喷洒方式;
机译:相对湿度对氰基丙烯酸酯熏蒸工艺对指印显影效果的影响以及对已显影标记的微观结构的影响。
机译:使用湿显影型单层和干显影工艺进行EUV光刻的分辨率预测
机译:温度敏感涂料在微通道的热显影和完全显影区域中的表面和流体温度测量中的应用
机译:DUV工艺中的显影缺陷和类似显影的缺陷
机译:毛细管电泳质谱(CE-MS)的方法显影 - 基于早期胚胎发生期间斑马鱼胚胎蛋白质组织的应用及应用
机译:电子显微镜放射自显影的分辨率。 IV。在放射自显影照片分析中的应用
机译:神经系统疾病中脑受体系统的研究:特殊和常规放射自显影方法在帕金森氏病,阿尔茨海默氏病和衰老中的应用=神经系统疾病中的脑受体系统:特殊和常规放射自显影方法在帕金森病,阿尔茨海默氏病和老化
机译:使用镍 - 次磷酸盐系统的X射线产生的可显影图像。 2次磷酸钠的曝光和显影参数
机译:光刻工艺中带有线性驱动喷嘴的显影装置的显影方法
机译:用于将显影剂供应到半导体工艺晶片的表面的显影剂喷嘴
机译:既可进行DI冲洗又可进行显影的集成喷嘴和显影液的应用
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。