一种应用于黄光工艺的显影液及其显影工艺

摘要

本发明是一种应用于黄光工艺的显影液及其显影工艺，显影液组成成分及制作过程是：先将对应质量的无水亚硫酸钠、对苯二酚、无水碳酸钠、菲尼酮、溴化钾和苯并三氮唑加入750ml水中搅拌至完全溶解，静置后再加入水调节显影液的总体积达到1000ml；显影工艺的具体步骤为：将配置好的显影液置于显影液保温装置；处理后的光刻胶板输送至显影槽中；显影液通过输送泵抽出，从两排多个鸭嘴喷淋头处呈水幕状喷淋到光刻胶板上进行显影；显影结束后，采用去离子水清洗残留的显影液；清洗完成后，将光刻胶板风干。本发明提供一种应用于黄光工艺的显影液以及显影工艺，这种显影液显影速率大，使用寿命长，超加和性大；显影工艺简单，显影效果好。