设备综合效率在半导体测试设备管理中的应用研究

摘要

集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率（OEE）理论运用到集成电路测试设备管理中，通过对OEE各项指标的分析与改善，实现设备产能的提升。