多晶硅生产中氯硅烷废气废液处理

摘要

在微电子和太阳能产业生产中,多晶硅作为一种重要的原材料得到广泛应用.近年来,我国的太阳能生产行业得到快速发展,大大增加了多硅晶需求.本文论述了多硅晶使用范围、分类以及其传统生产工艺,针对处理氯硅烷的废气、废液过程中存在的问题进行分析,最终提出一种处理废气、废液的新工艺,旨在为实际生产及相关研究提供参考.