多晶硅生产中氯硅烷残液的回收处理工艺的研究进展

摘要

多晶硅生产过程中,氯硅烷残液的回收处理是一个难题。本文介绍了氯硅烷残液的来源和主要组分,概述多晶硅生产中副产物氯硅烷残液的处理方法,包括水解法、过滤法、干燥法、燃烧法和萃取法等,并对这些处理方法的的优缺点进行了深入探讨。最后,展望了各种处理方法的应用前景,提出处理氯硅烷残液需要多种方法结合运用,才能收到良好的处理效果。