三氯硅烷和甲硅烷在多晶硅生产中的应用

摘要

近年来,随着电子材料不断被开发,仪器仪表制作技术也不断精密化了。其中,硅材料作为基盘材料年年在增加,并对硅材料提出了高纯度和低成本的要求。多晶硅是由硅石制取单晶硅的中间产品,是制作太阳能电池的原料。半导体用材料的纯度,近年来提出了高纯度的要求。例如,对硼、磷含量提出了不得高于0.1ppb的要求。对太阳能电池来说,更重要的是降低能耗。本文将概述用硅石制取单晶硅的工艺过程,以及制取多晶硅的西门子法和小松法。