聚酰亚胺LB膜真空热解制备β-SiC膜的STM观察

摘要

@@ 扫描隧道显微镜(STM)是一种基于量子隧道效应对样品进行高分辨无损测试的表面测试技术[1], 它可以在原子水平上反映表面分子或原子的排列分布情况, 在物理、化学、生物和微电子界受到高度的重视. STM技术以及其后发展起来的原子力显微镜(AFM)特别适合LB膜的研究, 能直观地反映出LB膜中分子排列的微观结构以及表面缺陷[2,3]. 我们曾通过真空热解沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺LB膜制得了准单晶β-SiC超薄膜[4A～6]. 本文利用STM技术对聚酰亚胺LB膜以及由它真空热解而成的SiC膜的表面形态结构进行了初步观察和分析.