三氯氢硅安全知识

摘要

理化特性及生产原理 三氯氢硅又名三氯硅烷、硅氯仿，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。随着有机硅烷偶联剂工业的发展，三氯氢硅的需求量越来越大。