基于光切法的微结构三维尺寸测量

摘要

针对微机械结构加工特点及其对相应测量技术所提出的特殊要求，运用光切法对三维微结构尺寸测量（尤其是高度尺寸）进行了实验研究和理论分析，阐明了其可行性与潜在优势。