基于光切法小深度尺寸测量仪的研究

摘要

由于微机械中的零件结构尺寸小,并且有些采用柔性材料制造,采用接触式的测量方法检测受到限制,寻求有效的微测量手段已成为国际微机械研究的热点之一。本文探讨一种基于光切法原理的小型深度尺寸测量仪,该测量仪采用光学非接触方法,不仅可测量2mm内的高度尺寸,而且适合于用柔性材料制造的微小零件,测量精度可达±0.001mm,对被测件无污染、损伤。