首页> 中文期刊>测控技术 >基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法

基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难.介绍了一种基于频闪照明与显微相移干涉原理的微结构三维运动测量方法,并给出了微镜的测量结果.测量结果可作为设计与制造工艺反馈.

著录项

来源
《测控技术》|2008年第6期|5-8|共4页
作者
白金鹏; 史铁林; 谢勇君; 周明才;
展开▼
作者单位

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北武汉,430074;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微结构; 频闪照明; 显微相移干涉; 相位去包裹;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于全场干涉测量方法的透镜三维轮廓测量 [J] . 刘嘉健 ,董博 ,吕梓亮 . 应用光学 . 2018,第002期
2. 基于相移和颜色分光的电子散斑干涉瞬态三维变形测量方法 [J] . 孙流星 ,于瀛洁 . 光学仪器 . 2016,第001期
3. 基于傅里叶干涉法的微结构离面运动测量 [J] . 胡晓东 ,齐浩 ,刘钢 . 光电子．激光 . 2007,第8期
4. 基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量 [J] . 陈津平 ,郭彤 ,胡春光 . 天津大学学报 . 2006,第0z1期
5. 基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量 [J] . 陈津平 ,郭彤 ,胡春光 . 天津大学学报 . 2006,第B06期
6. 干涉场下MEMS微结构平面运动测量方法 [C] . 陈治 ,胡小唐 ,胡晓东 . 2009全国博士生学术会议——计算机视觉与人工智能 . 2009
7. 基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量方法研究 [A] . 李峰 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号