用图像匹配和相移干涉测试微结构三维运动的系统与方法

摘要

本发明公开了一种用图像匹配和相移干涉测试微结构三维运动的系统与方法。系统包括光学显微镜、Mirau干涉物镜、物镜垂直位置控制器、频闪照明驱动装置、CCD摄像机、图像采集卡、数制计算机、运动激励驱动装置，频闪照明装置驱动白光LED和单色光LED分别照射微结构，白光LED照射时基于图像匹配技术测试微结构平面运动参数，单色光LED照射时基于相移干涉技术测试微结构离面运动参数。所述的方法，过程包括频闪与驱动信号的同步控制、白光照明下微结构平面运动参数的提取，相对坐标系的建立，利用相移干涉技术获得表面形貌及基于相对坐标系的离面运动参数提取。本发明的优点在于：利用平面运动参数高精度测试中的测量点定位特点，实现离面运动参数的精确提取。