干涉场下MEMS微结构平面运动测量方法

摘要

实现在干涉场下对MEMS微结构平面周期运动特性的测量,是显微干涉三维形貌和运动测量技术重要组成部分。提出一种基于干涉场下亮场重建技术的平面运动测量技术，通过图像叠加的方法实现在干涉场中的亮场图像重建，消除微结构图像中的干涉条纹，利用相位相关运动估计技术，测量微结构在干涉场下周期运动过程中各个时刻的运动特性。实验结果表明，该方法可以实现干涉场下平面运动特性测量，测量分辨力优于1um。该方法可以有效的解决不规则微结构的相位提取和展开及三维运动精确解耦合的问题。