MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展

摘要

对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重点介绍,包括其研究发展的历史、现状、发展趋势、分析模型和新近取得的主要进展等。最后对在线测量微结构机械参数的方法进行了总结。