Системы измерения толщины слоев многослойных микроструктур широко применяются в различных областях (от микроструктурной биологии до полупроводниковой промышленности). Если толщина слоев в микроструктуре соизмерима с длительностью импульса УЗ сигнала, то проблема решается методом времяпролетных измерений. Если толщина слоев меньше ширины импульса, то возникают существенные трудности при измерении. Применение высокочастотных сигналов мало эффективно из-за сильной дисперсии. По этой же причине нельзя использовать волновое преобразование Wavelet. Перспективны подходы к решению задачи на основе теории вероятностей, в частности, методы обратной свёртки, однако эти методы слишком сложны и требуют больших затрат. В данной статье предложен простой подход к решению проблемы на основе расчета передаточных функций и матриц, а также адаптивного "-преобразования с учетом граничных условий.
展开▼
