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光刻胶; 电子束; 技术开发; 光刻工艺; 技术能力; 旋涂; 掩膜;
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:具有双调特性的超灵敏非化学放大低对比度负电子束光刻胶
机译:仿生自清洁干胶电子束光刻胶阵列的制备与表征
机译:电子束光刻胶和碳纳米管作为仿生干胶
机译:用于电子束光刻胶
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