磁控溅射法制备五氧化二钒薄膜的表面粗糙度研究

摘要

V2O5是一种具有热致相变特性的新型非线性光学材料,被广泛应用于激光致盲防护领域.V2O5薄膜的表面粗糙度是影响其性能的重要因素.本文采用磁控溅射镀膜的方法在蓝宝石表面制备V2O5薄膜,通过控制氧氩比以及衬底温度,探究V2O5薄膜表面粗糙度与这两个因素之间的关系.实验表明,衬底温度较低(约300℃)时,表面粗糙度较小,且随氧含量变化不大;衬底温度较高(400℃以上)时,随着氧含量的增加,表面粗糙度变大.同时,当氧分压一定时,随着衬底温度的提高,薄膜的表面粗糙度也增大.