热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究

摘要

利用Ｒａｍａｎ谱和Ｘ射线衍射微分析研究了金刚石膜硼掺杂效应，研究发现，在硼浓度较低时，金刚石膜中非晶碳含量减少，而随着硼浓度增加，金刚石膜的Ｒａｍａｎ特征峰向低频方向漂移，并且展宽和出现不对称。这是由于硼掺杂引起晶格变化的Ｆａｎｏ正作用所致。