磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

摘要

运用阻碍极型能量分析，在不同磁镜场参数下测量了低温等离子体中离子的能量分布，结果表明，在放电管中心处郭了能量分布，随磁镜场强度的增加而向低能方向偏移，但离子能量分布宽度却没有显示的变化；而随着磁镜比的增加离子能量分布却向高能偏移，并且离子能量分布宽度也将变宽，由此可见，磁镜场参数对离子能星分布有很大的影响。