磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

摘要

射频等离子增强化学气相沉积是制备优质薄膜的一种非常重要的方法，等离子体中输运参数与薄膜生长及其特性关系密切。我们综合利用自行设计和研制的管式射频等离子体诊断设备对等离子体中离子能量分布进行了成功的测量。