脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究

摘要

利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜.利用XRD,XPS,AES,SEM等手段分析了薄膜的成分及显微组织结构,并测试了薄膜的硬度分布及摩擦磨损性能.结果表明:薄膜主要组成相为TiN,薄膜组织致密、均匀,与基材之间存在较宽的混合界面;薄膜硬度高,在干滑动磨损实验条件下具有优异的耐磨性及较低的摩擦系数.