公开/公告号CN2671287Y
专利类型
公开/公告日2005-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN200320102779.5
申请日2003-11-06
分类号H05H1/34;
代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人王凤华
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-21 22:47:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-31
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-01-12
授权
授权
机译: 等离子体发生器,等离子体处理装置和用于以脉冲方式提供电力的方法
机译: 等离子体发生器,等离子体处理装置和用于以脉冲方式提供电力的方法
机译: 直流等离子体的反极性脉冲发生电路及直流等离子体电源装置