脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究

摘要

利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45#钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀(Ti,Al)N薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织.利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度.测试了薄膜在0.5mol/L H2SO4水溶液中的耐蚀性.测试结果表明:薄膜主要组成相为(Ti,Al)N,同时含有少量的AlN,薄膜的纳米硬度高达26 GPa,薄膜具有良好的耐蚀性,与1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比,耐蚀性提高了一个数量级.