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陈浩; 邓金祥; 刘钧锴; 周涛; 张岩; 陈光华;
北京工业大学应用数理学院,北京,100022;
北京工业大学材料学院,北京,100022;
立方氮化硼 ; 能量势垒; 缺陷; 衬底偏压;
机译:纳米晶金刚石膜的插入和沉积过程中的氢气添加,以改善通过不平衡磁控溅射法沉积的立方氮化硼薄膜的附着力
机译:立方氮化硼薄膜磁控溅射沉积过程中的应力测量和应力松弛
机译:偏置溅射沉积过程中立方氮化硼薄膜的晶体学和结构演变
机译:立方氮化硼晶体晶粒沉积在Si衬底上的氮化硼薄膜的场发射特性
机译:制备多层立方氮化硼薄膜和类sp(3)氮化硼薄膜的各种制造方法的研究。
机译:化学气相沉积过程中的原位观察六方氮化硼对多晶铜的影响
机译:立方氮化硼薄膜生长过程中去除sp2-氮化硼过渡层
机译:立方氮化硼薄膜的表面化学,微观结构和摩擦学性能
机译:立方氮化硼薄膜和立方氮化硼薄膜的制造方法
机译:具有减小的残余压缩应力的制造立方氮化硼薄膜的方法和由此制造的立方氮化硼薄膜
机译:具有减小的压缩残余应力的制造立方氮化硼薄膜的方法和使用相同方法制造的立方氮化硼薄膜的方法
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