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丁万昱; 徐军; 陆文琪; 邓新绿; 董闯;
大连交通大学光电材料与器件研究所,大连,116028;
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;
SiNx; 磁控溅射; XPS; 化学键结构;
机译:ECR-微波等离子体源增强直流磁控溅射在不同N2分压下制备的Zr-N薄膜的结构和性能
机译:射频(RF)磁控溅射制备的Sinx栅极绝缘子的成分对有机薄膜晶体管特性的影响
机译:微波ECR等离子体增强不平衡磁控溅射沉积氮化硅碳薄膜。
机译:通过DC反应磁控溅射制备的N掺杂TiO {Sub} X薄膜的XPS研究
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:磁控溅射技术制备的金属氧化物薄膜在微波频率范围内的挥发性有机物检测
机译:微波功率对ECR等离子体增强直流磁控溅射制备氢化类金刚石薄膜性能的影响*
机译:通过射频磁控溅射制备的电可调谐微波器件
机译:在MOCVD制备的薄膜上具有富含SiNx的表面层的阻挡层/衬垫
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译:作为形成SiNx薄膜的薄膜形成方式
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