中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院大学电子电气与通信工程学院, 北京 100049;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;
中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083;