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公开/公告号CN103257509B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201310127562.8
发明设计人 牛斌;周代兵;王保军;边静;赵玲娟;王圩;
申请日2013-04-12
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:43:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-03
授权
2013-09-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 2/00 申请日:20130412
实质审查的生效
2013-08-21
公开
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