热处理气氛对Cd2SnO4透明导电膜化学态结构和电导率的影响

摘要

研究了热处理气氛对用无电沉积方法制备的Ｃｄ２ＳｎＯ４导电膜的化学态结构和导电率的影响。Ｘ射线光电子能谱和室温电阻率测量结果表明，以氢气为热处理气氛时，薄膜中的氧空位最高，导电性好，真空处理次之，以氧气为热处理气氛时，氧空位少，薄膜的导电性能差。