热处理时间对透明导电膜结构与导电性能的影响

摘要

对以铟、锡氯化物为前驱物,采用溶胶-凝胶法制备的掺锡氧化铟薄膜(ITO膜)样品进行了X射线衍射分析,研究了热处理时间对ITO膜的影响,结果表明热处理时间影响ITO膜晶粒的大小、衍射峰的相对强度和晶格常数;热处理时间为15min时,ITO膜晶粒较大,衍射峰择优取向不明显,晶格畸变较小,此时ITO膜的方阻最小。