University of Illinois at Chicago;
机译:氧化铝薄膜的雾化学气相沉积,用于晶体硅太阳能电池的背面钝化
机译:通过异丙醇二甲基铝热解法对氧化铝薄膜进行金属有机化学气相沉积
机译:脉冲激光沉积和等离子增强化学气相沉积法沉积氧化铝薄膜的性能
机译:低温金属有机化学气相沉积铝氧化物薄膜的界面质量和电气性能,用于高级CMOS栅极电介质应用
机译:前驱体化学及其对二氧化钛和铝薄膜化学气相沉积中微结构发展的影响
机译:激光化学气相沉积法合成氧化钴薄膜的分形结构
机译:由乙酰丙酮铝化学气相沉积制备的氧化铝薄膜
机译:从化学吸附到表面机理:铝薄膜化学气相沉积中三异丁基铝的热解探讨