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目录
第1章 绪 论
1.1课题研究背景
1.2氧化铝薄膜的研究现状
1.3纳米多层膜的力学性能
1.4薄膜热传导概述
1.5薄膜的主要制备方法
1.6本文主要研究内容
第2章 材料制备及表征方法
2.1氧化铝薄膜的制备
2.2铜(钼)/氧化铝纳米多层膜的制备
2.3表征方法及原理
第3章 反溅辅助磁控溅射氧化铝薄膜的结构和性能
3.1引言
3.2生长速率
3.3成分和化学键合态分析
3.4结构分析
3.5反溅辅助优化工艺
3.6低温晶化机制分析
3.7本章小结
第4章 纳米多层铜(钼)/氧化铝薄膜的结构特性
4.1引言
4.2金属铜(钼)膜层性能
4.3铜(钼)/氧化铝多层膜体系
4.4本章小结
第5章 纳米多层铜(钼)/氧化铝膜的性能
5.1引言
5.2多层膜力学性能
5.3多层膜热学性能
5.4本章小结
结论
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果
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致谢
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