一种氧化锂-氧化铝-二氧化硅-氧化硼、氧化钙-氧化铝-二氧化硅-氧化硼可析晶玻璃低温共烧复合材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种Li2O-Al2O3-SiO2-B2O3、CaO-Al2O3-SiO2-B2O3可析晶玻璃低温共烧复合材料及其制备方法；复合材中CaO-Al2O3-SiO2-B2O3可析晶玻璃的质量分数为(40～60%)，Li2O-Al2O3-SiO2-B2O3可析晶玻璃的质量分数为(60～40%)；低温共烧复合材料烧结温度低，可在(800～900)℃实现烧结，大大低于目前LTCC材料烧结的上限温度(950℃)；复合材料热膨胀系数低(＜6.7×10-6/℃)，介质损耗低(＜0.02)；所得材料致密化程度高，气孔率低，如图所示；工艺流程简单，成本低廉；所得材料具有较低的热膨胀系数。

说明书

技术领域

本发明涉及一种低热膨胀系数、低介质损耗的低温共烧复合材料及其制备方法，属于电子封装材料领域。 

背景技术

随着微电子技术的迅速发展，电子线路日益向微型化、集成化的方向发展。而电子封装技术的发展没有与之形成配套，成为制约微电子技术继续发展的瓶颈。目前，低温共烧陶瓷(Low Temperature Cofired Ceramics，LTCC)技术普遍应用于多层芯片线路模块化设计中，它除了在成本和集成封装方面的优势外，在布线线宽和线间距、低阻抗金属化、设计的多样性及优良的高频性能等方面都显现出良好的应用前景。 

LTCC技术主要具有以下几方面的技术优势：(1)可在更低温度(950℃)以下烧结，可以采用电导率高的低熔点金属(如Au、Ag、Cu等)作为导线材料。(2)能在大气中烧结，生产成本低。(3)基板设计灵活。其中包括布线灵活，热膨胀系数可调，层数可变等优势。 

目前正在研究的和已经投入生产的主流LTCC材料主要分为两类，即可析晶玻璃体系(玻璃陶瓷体系)和玻璃+陶瓷体系。LTCC材料主要是通过其中所包含的低熔点玻璃的粘性流动实现材料的低温烧结。所以，无论对于何种体系的LTCC材料而言，低熔点玻璃的选择对复合材料的最终性质都起着至关重要的作用。一般来说，LTCC材料所使用的玻璃材料需具备以下特点：(1)较低的热膨胀系数(室温到400℃材料的热膨胀系数＜7.0×10^-6/℃)。(2)较低的软化温度(600～800℃)。(3)烧结过程完成后，剩余玻璃相不会导致复合材料介质损耗过高(室温1MHz下,介质损耗＜0.05)。 

Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃具有低热膨胀系数和低软化点(600～790℃)，这使其具有应用于LTCC材料的潜力。而且，Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃可通过调整其配方获得热膨胀系数接近零值甚至负值的材料。这对于获得低热膨胀系数的LTCC复合材料是十分有利的。但Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃中含有较多的Li₂O，Li₂O是一个典型的网络改性氧化物，可以显著增加玻璃的介质损耗。Robert D.Shannon研究了无定形Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃(Li₂O:Al₂O₃:SiO₂=1:1:4)的介质损耗。结果表明：该玻璃材料在1MHz下的介电损耗为0.047。但Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃中的常见晶相：β-锂辉石和β-石英固溶体，他们的介电损耗是0.004～0.005，因此，析晶可以降低Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃的介电损耗。然 而，对于可析晶玻璃来说，在烧结过程中完全结晶是难以达到的。残留在玻璃中的Li₂O可能会导致过高的介质损耗。另外，低软化点玻璃烧结过程中的析晶对烧结致密化有不利的影响。基于上述原因，Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃尚未用于LTCC材料中。 

发明内容

本发明的目的是开发一种具有低热膨胀系数的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃、CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃低温共烧复合材料。本发明的另一目的是提供一种工艺简单，成本低廉的该材料的制备方法。 

本发明的技术如下： 

一种Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃、CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃构成的低温共烧复合材料，其特征是复合材料由CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃组成，其中CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃的质量分数为(40～60%)，Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃的质量分数为(60～40%)。 

其中，所述可析晶CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下：CaO(8.20～16.26)wt%，Al₂O₃(6.40～18.54)wt%，SiO₂(10.08～18.42)，B₂O₃(3.32～5.76)wt%，添加剂为MgO(3.40～10.92)wt%； 

可析晶Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下：Li₂O(1.16～2.88)wt%,Al₂O₃(7.48～11.60)wt%，SiO₂(26.32～39.90)，B₂O₃(2.00～3.90)wt%，添加剂为CaO(0.56～2.28)wt%，MgO(0.56～2.28)wt%。 

本发明还提供了上述低温共烧复合材料的制备方法，包括以下步骤，如图1所示： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数为40～60%和60～40%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

上述制备方法中，所述球磨的球料比为3:1，球磨介质为去无水乙醇。 

按传统烧结工艺，将所得坯片在(800～900)℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧材料。 

本发明的优点在于：低温共烧复合材料烧结温度低，可在(800～900)℃实现烧结，大大低于目前LTCC材料烧结的上限温度(950℃)；复合材料热膨胀系数低(＜6.7×10^-6/℃)，介质损耗低(＜0.02)；所得材料致密化程度高，气孔率低，如图1所示；工艺流程简单，成本低廉；所得材料具有较低的热膨胀系数。 

附图说明

图1：本发明的方法流程示意图； 

图2：为本发明中实施例6的低温共烧材料的SEM图。 

具体实施方式

实施例1： 

本发明具体实施例中， 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻 璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数40%和60%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在900℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为6.4×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.005。 

实施例2： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高 温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数50%和50%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在880℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为6.1×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0037。 

实施例3： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数60%和40%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在880℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为5.3×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0058。 

实施例4： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数40%和60%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在800℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为5.4×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0098。 

实施例5： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数50%和50%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在800℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为3.7×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0105。 

实施例6： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照复合材料质量分数为40～60%的混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在860℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为3.5×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0012。本实例的SEM图见附图1。 

实施例7： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数50%和50%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在880℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为3.4×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0009。 

实施例8： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数60%和40%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在880℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为3.3×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0013。 

实施例9： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数40%和60%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在820℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为6.7×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0179。 

实施例10： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数50%和50%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在840℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为5.5×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0133。 

实施例11： 

复合材料中Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃以复合材料总重量组成为基准计，其组成如下： 

本实施例中低温共烧材料的制备方法，包括以下步骤： 

(1)可析晶玻璃的原料准备：按Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃所需各氧化物的质量百分含量称取原料，并分别混合均匀； 

(2)CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1550℃，然后将混合均匀的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(3)Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃制备：将高温连续熔化炉升至1600℃，然后将混合均匀的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃原料以10～20g/min的速率加入高温连续熔化炉的石英坩埚中；用去离子水承接从石英坩埚出口处流出的玻璃熔液，得到玻璃熔块。使用氧化铝研钵将研磨上述玻璃熔块至均匀玻璃粗粉，再将所得玻璃粗粉分别球磨15～18小时得到玻璃细粉； 

(4)材料成型：将上述步骤制备的CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃和Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃按照各占复合材料质量分数60%和40%混合均匀后，以复合材料总重量组成为基准计加入3wt%聚乙烯醇粘结剂，造粒干压后制成坯片。 

(5)烧结：将所得坯片在880℃下烧结，保温0.5～2小时后，在炉中自然冷却至室温，制得低温共烧陶瓷材料。 

本实施例中所制得低温共烧复合材料的热膨胀系数为4.7×10^-6/℃。该材料的介质损耗为0.0114。 

本发明提出的一种Li₂O-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃、CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃可析晶玻璃低温共烧复合材料及其制备方法，已通过实施例进行了描述，相关技术人员明显能在不脱离本发明的内容、精神和范围内对本文所述的内容进行改动或适当变更与组合，来实现本发明。特别需要指出的是，所有相类似的替换和改动对本领域技术人员来说是显而易见的，他们都被视为包括在本发明的精神、范围和内容中。