机译:氧化铝薄膜的雾化学气相沉积,用于晶体硅太阳能电池的背面钝化
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Kyoto 615-8510, Japan;
Institute for Nanotechnology, Kochi University of Technology, Kami, Kochi 782-8502, Japan;
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Kyoto 615-8510, Japan;
Future Technology Development Center, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Corporation, Kobe 650-0047, Japan;
Future Technology Development Center, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Corporation, Kobe 650-0047, Japan;
Photonics and Electronics Science and Engineering Center, Kyoto University, Kyoto 615-8520, Japan;
机译:通过薄雾化学气相沉积法沉积的氧化铝膜的钝化性能,用于太阳能电池应用
机译:通过平行板等离子体增强化学气相沉积法沉积的用于结晶硅太阳能电池的高质量氧化铝钝化层
机译:催化化学气相沉积法形成的超薄SiN_x薄膜对晶体硅表面的钝化作用
机译:用于晶体光伏太阳能电池的柔性多晶金属基板上的异质外延硅薄膜:物理气相沉积与等离子体增强化学气相沉积之间的比较
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:常压等离子体化学气相沉积法生长掺锌铜的抗菌氧化硅薄膜
机译:通过氧化铝覆盖的磷脂含磷氧化物的脉冲流等离子体增强的化学气相沉积优异的硅表面钝化钝化硅表面