机译:通过平行板等离子体增强化学气相沉积法沉积的用于结晶硅太阳能电池的高质量氧化铝钝化层
Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan;
Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan;
Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan Photovoltaics Research Center (PVREC), Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan;
Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan Photovoltaics Research Center (PVREC), Tokyo Institute of Technology, 2-12-1-S9-9 O-okayama, Meguro, Tokyo 152-8552, Japan;
机译:高频等离子体增强化学气相沉积纳米复合低氧硅对硅晶体表面的钝化作用
机译:等离子体增强化学气相沉积微晶氧化硅的开发,以替代非晶硅单结太阳能电池中的N型或背面透明导电氧化物层
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:用于晶体光伏太阳能电池的柔性多晶金属基板上的异质外延硅薄膜:物理气相沉积与等离子体增强化学气相沉积之间的比较
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:两步后退火通过原子层沉积氧化铝增强的Si钝化和PERC太阳能电池效率
机译:通过氧化铝覆盖的磷脂含磷氧化物的脉冲流等离子体增强的化学气相沉积优异的硅表面钝化钝化硅表面
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。