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Mechanical characterization of MEMS bi-stable buckled diaphragms

机译：MEMS双稳态弯曲膜片的机械特性

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作者
Phelps, Isaac James;
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作者单位

University of Louisville;

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授予单位 University of Louisville;
学科
学位 M.Eng.
年度 2013
页码 78 p.
总页数 78
原文格式 PDF
正文语种 eng
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