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战长青; 罗台秦; 刘理天; 钱佩信;
清华大学微电子学研究所;
香港科技大学微制造中心;
硅; 微机械系统; MEMS; 集成驱动结构; 双金属效应;
机译:带有PDMS膜片和热室致动器两腔室配置的MEMS微型阀,用于硅上集成的血液测试系统
机译:高SPL和低频应用的基于ZnO的MEMS声传感器的微隧道和硅膜片的设计与制造
机译:大压缩应变范围内嵌入MEMS膜片结构的硅纳米线的表征
机译:高精度硅压差传感器与双膜片和微超量程保护结构单片集成
机译:与聚二甲基硅氧烷微流体集成的平面硅膜片钳电极。
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。
机译:结构类型为chabazita的硅铝磷灰石的制备方法,结构为chabazita的硅铝硅磷灰石,结构为chabazita的硅铝磷灰石为基的分子筛的制造方法以及基于发色的硅铝铝磷化石为基的分子筛的制造方法
机译:造纸工艺,水溶性多颗粒聚硅铝酸盐微凝胶的制备方法和水溶性多颗粒聚硅铝酸盐微凝胶本身
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