University of California, Berkeley.;
机译:1,4-双(三甲基硅烷基)苯的蒸气压在等离子体辅助液体注入化学气相沉积工艺中显影碳化硅薄膜中的作用
机译:通过热线化学气相沉积由纯硅烷和甲烷气体沉积的碳化硅薄膜的压力依赖性结构和光学性质
机译:在各种压力下通过低压化学气相沉积法生长的多晶硅膜上的薄膜晶体管的性能
机译:新型等离子体增强化学气相沉积源技术沉积氧化硅,氮化硅和碳化硅薄膜
机译:基于仿真的碳化硅和氮化镓薄膜化学气相沉积反应器系统的设计,优化和控制。
机译:常压等离子体化学气相沉积法生长掺锌铜的抗菌氧化硅薄膜
机译:大气压等离子体化学气相沉积的非晶硅薄膜的高速率沉积。 (第一个报告)。具有旋转电极的大气压等离子体CVD装置的设计与生产。
机译:单晶硅上LpCVD(低压化学气相沉积)钨膜隧道形成条件