University of Waterloo (Canada).;
机译:低压电感调谐RFMEMS电容开关的设计和制造X和KU带
机译:设计和制造对电容式RF MEMS开关的RF性能的影响
机译:GaAs基板上的K带电容MEMS开关:设计,制造和可靠性
机译:光学IMEMS / sup / spl reg /-一种集成了片上电子器件的MEMS光开关的制造工艺
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:用于光开关的MEMS电磁摆型执行器的设计和制造
机译:多级二维mEms光开关的结构设计
机译:多模光开关的设计与制作