MEMS光学开关的设计与分析

摘要

由于传统机械结构设计的方法的种种缺点，本文提出了一种以系统级分析方法的方法实现 MEMS光学开关的快速设计与优化。通过采用Coventorware软件ARCHITECT模块建立MEMS光学开关模型，分析了多物理耦合场下 MEMS光学开关的动态响应特性，得到位移和电压大小的对应关系曲线，以及固有频率分析曲线。结合微机械工艺要求，通过系统级仿真，大大缩短了设计周期，同时提高机械结构的合理性。