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机译:多级二维mEms光开关的结构设计
Gangxiang Shen; Tee Hiang Cheng; Sanjay K. Bose; Senior Member; Chao Lu; Teck Yoong Chai;
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机译:在3D集成电路的基于流体的冷却中引入微机电(MEM)开关的控制系统和体系结构
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