金属氧化物纳米纤维的焊接及其在场效应晶体管中的应用研究

目录

引言

第一章 绪论

1.1 场效应晶体管简介

1.1.1 场效应晶体管的发展历程

1.1.2 场效应晶体管的结构和工作原理

1.1.3 场效应晶体管的参数和未来发展动向

1.1.4 场效应晶体管的制备方法及应用

1.2金属氧化物纳米纤维材料

1.2.1金属氧化物纳米纤维的概述

1.2.2 静电纺丝法制备金属氧化物纳米纤维

1.3 存在问题及前沿分析

1.4具体研究方案

1.5 本论文的主要研究内容和章节安排

第二章 低温制备自焊接金属氧化物纳米纤维晶体管

2.1 金属氧化物纳米纤维的高温退火和低粘附性问题

2.2金属氧化物纳米纤维的焊接及器件集成

（1）FETs 介电层的制备

（2）制备金属盐/聚合物复合纳米纤维

（3）制备焊接形态的金属氧化物纳米纤维

（4）电极制备

（5）焊接形态的In2O3 纳米纤维FET 的集成和测试

2.3 低温焊接In2O3纳米纤维特性的研究

2.4 低温焊接形态下In2O3纳米纤维 FETs 的性能研究

2.5 本章小结

第三章 基于焊接形态的SnGaO纳米纤维场效应晶体管的制备与研究

3.1 SnGaO纳米纤维的制备及器件集成

（1）介电层的制备

（2）SnGaO 纳米纤维的制备

（3）热蒸发沉积源、漏电极

3.2 Sn1-xGaxO纳米纤维FETs的制备与测试

3.3 焊接形态Sn1-xGaxO纳米纤维的器件集成及性能提升

3.4 本章小结

第四章 工作总结与展望

参考文献

攻读学位期间的研究成果

致谢

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