基于MEMS微针的新型驱动机构的设计与仿真

著录项

• 作者

  王子龙;

  展开▼
• 作者单位

  河南大学;

  展开▼
• 授予单位 河南大学;
• 学科 物理电子学
• 授予学位 硕士
• 导师姓名 张培玉;
• 年度 2019
• 页码
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 中文
• 中图分类
• 关键词

  MEMS; 微针; 驱动机构;