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基于MEMS工艺的硅微针表面涂覆加工方法

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摘要

一种基于MEMS工艺的硅微针表面涂覆加工方法，采用化学气相淀积方法在硅片的抛光面生长底层SiO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-12-19

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/00 申请公布日:20110216 申请日:20101019

发明专利申请公布后的视为撤回
2011-03-30

实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20101019

实质审查的生效
2011-02-16

公开

公开

1. 基于MEMS工艺的硅微针表面涂覆加工方法 [P] . 中国专利： CN101973509A . 2011-02-16
2. 黑硅、制备工艺及基于黑硅的MEMS器件制备方法 [P] . 中国专利： CN107799392B . 2020.12.11
3. Method for manufacturing device with arrangement of micro-needles, involves preparing silicon semiconductor substrate, whose surface is applied and structured with masking layer [P] . 德国专利： DE102007002832A1 . 2008-07-24

机译：具有微针排列的器件的制造方法，涉及制备硅半导体衬底，该硅半导体衬底的表面被涂覆并具有掩模层。
4. Method for coating a surface of a component, comprises applying an anti-adhesive agent on an area of the component not to be coated before coating, where the anti-adhesive agent comprises base material based on wax, graphite and/or silicon [P] . 德国专利： DE102009023616A1 . 2010-12-09

机译：涂覆部件的表面的方法，包括在涂覆之前将抗粘剂施加在部件的未被涂覆的区域上，其中该抗粘剂包括基于蜡，石墨和/或硅的基础材料。
5. SURFACE COATED SIC WHISKERS,PROCESSES FOR PREPARING THE SAME,CERAMIC REINFORCED WITH THE SAME,AND PROCESS FOR PREPARING SAID REINFORCED CERAMIC [P] . 英国专利： GB2241943B . 1992-01-02

机译：表面涂覆的硅晶须，制备相同的工艺，用相同的陶瓷增强的工艺以及制备的增强陶瓷的工艺