本文建立了一个基于动力学蒙特卡罗(kinetic Monte Carlo)方法的三维模型。在该模型中，考虑了沉积速率、沉积温度以及沉积角度等影响薄膜生长的参数。在计算中，构造了一个哈希散列来存储原子的位置和扩散速率，利用哈希查找技术来进行扩散原子的查找，从而得以模拟出较大规模的粒子沉积和生长过程。利用该模型，详细考察了沉积粒子的入射角对薄膜形貌的影响，研究了薄膜中柱晶的生长角随沉积角的变化。模拟结果表明，在高沉积速率和大得沉积角下，薄膜表面易形成柱状（柱晶）和多孔结构，随沉积角的增大，柱晶也由小长大，柱晶间的微空洞增多，并逐渐发展成为大的裂缝和空洞区。当沉积角大到一定程度时，柱晶完全被大的空洞区分隔开而形成一个个独立的柱状结构。文中较详细地研究了柱晶生长角与沉积角间的关系，发现柱晶的生长角与沉积角之间并不符合Lodder等人提出的tangent关系，经分析其原因是薄膜生长中悬垂粒子的存在会使生长角偏小，这与实际情况是相符的。
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