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目录
第一章 绪论
1.1氮化物及氮化镓介绍
1.2 GaN器件的研究进展
1.3本论文的结构
第二章GaN HEMT原理与工艺及仿真软件介绍
2.1AlGaN/ GaN HEMT工作原理及增强型实现方法
2.2AlGaN/GaN HEMT器件的制备工艺
2.3 Silvaco软件介绍
2.4本章小结
第三章 不同氟等离子功率处理GaN双异质结器件仿真分析
3.1双异质结器件与单异质结器件特性仿真对比
3.2不同GaN沟道层厚度对器件特性的影响
3.3常规氟功率处理器件特性对比
3.4较低氟功率体处理器件特性对比
3.5本章小结
第四章 135W氟等离子功率处理GaN双异质结器件实验分析
4.1 135W氟功率处理GaN双异质结器件退火前特性分析
4.2 135W氟功率处理GaN双异质结器件退火后特性
4.3 GaN双异质结变温特性分析
4.4本章小结
第五章 总结
参考文献
致谢
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