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第一章 引言
1.1 研究背景
1.2 薄膜生长的实验研究
1.2.1 岛形貌的分类
1.2.2 不同基底结构的外延生长
1.3 薄膜生长的理论研究
1.4 薄膜生长的模拟研究
1.4.1 计算机模拟薄膜生长的模型
1.4.2 薄膜生长的计算机模拟方法
1.5 研究现状及本文的工作
第二章 基本理论
2.1 薄膜生长的原子过程
2.2 表面原子的扩散类型及薄膜生长模式
2.3 平均场成核理论
2.4 岛尺寸分布的标度理论
2.5 影响成核的因素
第三章 模型建立和模拟的实现
3.1 模拟方法的选择
3.2 模型的建立
3.2.1 蒙特卡罗方法的原理和实现
3.2.2 bcc(001)模型
3.2.3 fcc(110)模型
3.3 模拟仿真的实现
3.3.1 KMC模拟的考虑因素
3.3.2 本模拟采用的结合势的性质
3.3.3 模拟相关的数学方法
第四章 模拟结果分析与讨论
4.1(001)面上岛形貌由紧致向枝晶的转变
4.1.1 模拟图展示
4.1.2 沉积速率、衬底温度
4.1.3 生长率D/F的研究
4.1.4 转变温度
4.2(110)基底上模拟研究
4.2.1 Ag/Ag(110)岛形貌
4.2.2 一维向二维生长的转变
4.2.3 模拟结果与实验及其他模拟的对比
4.2.4 Ag/Ag(110)上的线缺陷生长
4.2.5 Cu/Cu(110)上的生长情况
第五章 结论
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表的论文